测漏仪抽真空时间

抽真空时间
启动机械帮浦，接下来开启粗略真空阀门，以每20秒纪录压力到torr，启动涡轮分子帮浦，等候帮浦转速达到额定转逤，开启真空阀门，以每20秒纪录压力，直至压力在torr。
软体模拟部份：量测腔体至机械帮浦之管长、弯管内径及管径，建立系统管路，接着设定抽气区间之起始压力、终极压力及腔体容积，依据厂商提供之机械帮浦及涡轮帮浦抽气速率，做为抽气帮浦的设定，将所量测之腔体面积、漏气率及不锈钢材质释气系数对气体负载设定[2]。比较实验值与软体模拟值的结果。

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